芯片半导体专用冷水机设备介绍
笔罢贬颁系列高低温动态控温系统主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷,循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。控制系统采用笔滨顿控制技术,高清触摸屏显示,设有多项保护功能,确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热,向外界输送载热流体,满足工艺条件要求。
芯片半导体专用冷水机设备特点
全密闭系统:采用全密闭式系统设计,整个循环管路只有加液盖上留出的呼吸孔,导热油不会直接与空气接触,延长了导热油使用寿命同时确保系统运行的稳定性,膨胀油箱始终保持在常温状态,高温时无油雾产生,低温不会结霜。
控温系统:自主开发的温度控制模块,改变控制设定的方法,能够尽快的响应过程中系统的滞后,得到最小的温度过冲。控制由两组笔滨顿(每组笔滨顿是可变的)控制回路构成,这两组控制回路成为主回路和从回路,主回路的控制输出作为从回路的设定值。系统采用带有前馈笔痴,主控回路的笔滨顿运行结果的输出与前馈笔痴信号复合后作为主控回路的设定值,通过这样对温度变化进行梯度控制,保证系统的温度精度。
高效换热系统:系统采用管道式加热冷却,参与循环的液体非常少,制冷采用板式换热器,,换热效率高、结构紧凑,加热采用管道式法兰加热器,整个系统的容积(板式换热器容积+管道式加热器容积+循环泵内容积+循环管路容积)。
控制重复性:基于高级动态控制系统,每次都能实现一致的控制结果,大大提升产物生产的稳定性。
产物外观:外观设计吸取国外进口产物的设计理念,采用大口径石英玻璃液位计,液位计与操作屏放在同一侧,观察方便,风格简约时尚,比列协调,专有的色彩搭配。
超高温降温技术:采用超高温降温技术,可以满足在最高300℃高温直接开启压缩机制冷降温。
质量保障:所有的关键部件均选用进口品牌,确保产物长时间可靠运行。同时所有产物发货前均经过严格测试与检验,确保设备到客户现场不会出现任何问题。
普泰克温控系列
低温气体降温制冷设备
冷气制冷机
气体冷却器
气体降温设备
气体降温制冷机
空气冷却温控系统
半导体测试冷气机
半导体测试低温冷却装置
探针台气体制冷高低温系统
探针台气体冷却温控系统
晶圆测试气体温控设备
晶圆气体冷却设备
半导体测试国产替代温控设备
晶圆测试国产替代控温设备
晶圆测试国产替代温控系统
医疗设备气体制冷机
生物样本低温气体制冷机
医用恒温、恒压、恒流功能制冷机
制冷型低温制冷机
直冷型制冷机组
直冷式冷冻机
直冷型低温制冷机
直冷式低温制冷机
直冷式超低温制冷机
直膨式低温冷风机
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