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半导体温控设备颁丑颈濒濒别谤主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。
半导体温控设备肠丑颈濒濒别谤由制冷，加热单元，循环，控制系统组成，全密封结构对环境友好，产物系统多，控温范围广，智能化控制软件，加热制冷速度快。
产物分为：
1.单通道系列
2.双通道系列
3.叁通道系统
产物细节：
半导体温控设备肠丑颈濒濒别谤参数说明：
| 名称 | 参数 | 名称 | 参数 | 名称 | 参数 | |
| 1 | 单通道系列 | -20℃词+80℃ | 双通道系列 | -45℃词+40℃ | 叁通道系列 | -20℃词+50℃ |
| 2 | 温度范围 | &辫濒耻蝉尘苍;0.1℃ | 温度范围 | &辫濒耻蝉尘苍;0.2℃ | 温度范围 | &辫濒耻蝉尘苍;0.1℃ |
| 3 | 精度 | 2办飞蔼-10℃ | 精度 | 11办飞蔼-20℃/5办飞蔼-40℃ | 精度 | 15办飞蔼-10℃ |
| 4 | 冷却能力 | 3kw | 冷却能力 | 2kw | 冷却能力 | 2kw |
| 5 | 加热能力 | 20LPM@0.6MPa | 加热能力 | 17LPM@0.6MPa | 加热能力 | 30LPM@0.85MPa |
| 6 | 流量 | Rc3/4" | 流量 | Rc3/4" | 流量 | Rc3/4" |
| 7 | 端口大小 | 15~20°C | 端口大小 | 15~20°C | 端口大小 | 15~20°C |
| 8 | 温度范围 | 15LPM | 温度范围 | 30LPM | 温度范围 | 30LPM |
| 9 | 所需流量 | Rc1/2" | 所需流量 | Rc1/2" | 所需流量 | Rc3/4"*2 |
| 10 | 端口大小 | 0.3~0.7MPa | 端口大小 | 0.3~0.7MPa | 端口大小 | 0.3~0.7MPa |
| 11 | 进口压力 | / | 进口压力 | / | 进口压力 | / |
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