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恒温恒湿机在基板曝光前，能有效维持其表面温度的均一性。经过此设备处理后的空气，温度控制精度可达目标值±0.01℃，充分满足制程环境对温控的要求。

制冷加热循环系统 温度控制恒温循环器产物广泛应用于国内外科学研究和工艺开发、新能源汽车、生物技术、医药行业、航空航天、半导体、医疗技术等行业。